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石英管式微波等離子體裝FM-CVD

的詳細(xì)介紹

（一）主要配置：

1、微波頻率2.45GHz；足額功率0～500W（基本型）或0～1000W（升級(jí)型）連續(xù)可調(diào)，陽(yáng)*壓、陽(yáng)極電流足額顯示；

2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升級(jí)型）石英管真空室，有一個(gè)觀察窗和一個(gè)診斷窗；

3、石英管采用制冷循環(huán)水冷卻，保證裝置安全運(yùn)行。

4、配有真空測(cè)量及控制閥門(mén)系統(tǒng)；3路工作氣體流量控制；

（二）典型實(shí)驗(yàn)：

1、等離子體化學(xué)氣相沉積。A（氣）+B（氣）→C（固）+D（氣）。

反應(yīng)氣體A、B被激發(fā)為等離子狀態(tài)，其活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上，可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料等。

2、等離子體表面刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應(yīng)生成氣態(tài)物C，可用于集成電路的刻蝕實(shí)驗(yàn)。

3、等離子體催化反應(yīng)。等離子體中具有豐富的活性成分，如紫外和可見(jiàn)光子、電子、離子、自由基，高反應(yīng)性的中性成分如活性原子、受激原子態(tài)，從而可以引發(fā)在常規(guī)化學(xué)中不能或很難實(shí)現(xiàn)的化學(xué)反應(yīng)。

4、等離子體表面改性。A（氣）+B（固）→C（固）。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)，與固體B表面發(fā)生反應(yīng)，生成新的化合物，從而達(dá)到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的。廣泛用于高分子材料、金屬材料、生物醫(yī)用材料的表面改性。

（三）產(chǎn)品特色：

1、  微波系統(tǒng)設(shè)計(jì)嚴(yán)謹(jǐn)，加工精良，運(yùn)行時(shí)微波準(zhǔn)零泄漏，確保使用者人身安全；

2、  微波功率充足，等離子效應(yīng)強(qiáng)勁，作用效果良好；陽(yáng)極電壓電流足額顯示。

3、  樣品臺(tái)升降架精巧豪華，方便調(diào)諧和樣品取放；

4、  樣品臺(tái)可加熱或冷卻，有利于控制反應(yīng)過(guò)程。

5、制冷循環(huán)水系統(tǒng)踐行環(huán)保理念，避免用長(zhǎng)流水費(fèi)水?dāng)_民。

6、循環(huán)水機(jī)可聯(lián)機(jī)使用、可獨(dú)立使用，提高了投資效益；

7、缺水時(shí)啟動(dòng)高壓或正常工作時(shí)斷水，系統(tǒng)會(huì)斷電并報(bào)警；

8、真空泵排氣口接有油霧過(guò)濾器，保護(hù)環(huán)境；

9、電控系統(tǒng)功能完善、操作靈便、指示醒目；

10、整機(jī)造型典雅大氣。

（四）輔助設(shè)備與耗材（主要由客戶(hù)另購(gòu)）：

超聲清洗機(jī)、1000×金相顯微鏡；硅片、金剛石微粉、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的碳膜、模板、石英管 / 板等。

石英管式微波等離子體裝FM-CVD

（五）特殊配置（客戶(hù)提出要求,本廠設(shè)計(jì)制作,費(fèi)用雙方協(xié)商）：

1、異型基片臺(tái)（樣品臺(tái)）

2、上置疹斷探針（帶透明觀察窗）

3、可加熱可測(cè)溫的基片臺(tái)——可水冷可

出接線端子的基片臺(tái)支柱——寬行程

精巧豪華升降架——下法蘭（總成）

4、基片臺(tái)加熱及溫度測(cè)控儀

5、可水冷的基片臺(tái)（帶升降架總成）

6、光學(xué)鏡頭（用于聯(lián)接光譜儀、光度計(jì)等）

7、客戶(hù)提出需求的其它配置